設備隔震 Equipement Protection

 

 

 

 

 

       半導體設備隔震,以摩擦擺系統為隔震支承,可於任意方向移動。防震設計目標,摩擦係數控制在3%以下,這須仰賴高精密的加工技術與適當的界面材料,所用的滑動介面材料必須滿足不揮發、耐腐蝕、耐磨耗及免維護等條件。

        劦承精密股份有限公司(Well-Link)與國立大學教授合作開發以摩擦單擺支承為基礎(FPS-based)的高科技設備隔震平台,並完成了一系列的振動台試驗,包括以正弦波來檢測隔震平台的啟動門檻,以AC156地震波來探討隔震平台在不同震度條件下的性能表現。測試結果顯示,隔震平台在尖峰樓板加速度(PFA)<20gal即能啟動,界面摩擦係數μ≦0.03;當尖峰樓板加速度達824gal時,平台最大加速度僅為 75 gal,滿足性能設計目標。

        此外,在所有的測試中,隔震支承的最大殘餘位移(residual displacement)小於2.91mm,證明本系統各項指標都能符合規格要求,可廣泛應用於相關設備或者樓板隔震之需求。 

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